半导体行业在出产的过程当中，会发生大量的有机物和有毒有害物资，特殊是VOCs气体，如直接排放VOCs气体，对大气层将会造成较为严重的风险，所以今天小编将与各人分享一份关于：半导体行业的废气处置方案。
 
　　今朝在市场上，产业废气处置首要采取的是燃烧或是吸附的方式，还有一种少见的热氧化法，可是因为半导体废气中的有机物会被氧化失落，所以只有在大流量、低浓度的气体的环境下利用该方式。

 
　　吸附法：
　　活性炭吸附法是操纵活性炭概况上的多孔，去吸附有机废气中的有害物资或是可收受接管物资，其吸附剂选择性高，并且净化效力高，活性炭再吸附后需作再生处置。
　　上风：活性炭吸附装备构造简单，可实现主动化操纵，采取活性炭作为吸附剂，其运行本钱低，并且对废气中水蒸气的活络度不高。
 
　　燃烧法：
　　燃烧法的工作道理是将废气中的有机物颠末热氧化转化为二氧化碳和水，一般处置的是浓度和风量较为不变的废气。
　　有机废气处置方式一般会利用直接燃烧法、催化燃烧法、活性炭吸附法、冷凝法等，良多时辰会采取燃烧法和吸附法相连系。
 
　　对半导体行业的废气这类大风量、废气成份复杂并且浓度低的有机废气处置比力合适燃烧法和吸附法相连系的方式。 》》文章网址：http://www.yongjiahb.com